




荊州高溫老化烤箱 簡介:
加工半導體用烤箱, SECS / GEM無塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后固化、堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
智能無塵烤箱可以使用TCP / IP(使用HSMS標準,SEMI E37)或基于RS-232的協議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協議都受支持。每臺設備都可以使用由GEM的通用SECS-II消息進行監控和控制。
箱體結構:
1、烘箱總體由箱體部分,氣控制柜部分,加熱部分,風道部分,塵埃物過濾部分,進氣排氣及風冷部分等組裝而成,結構合理,功能實用。
2、外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵,
內膽材料:采SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經堿性蘇打水清潔的防止了機臺本身灰塵的產生。
3、保溫材料:采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級保溫板填充,的防止了熱能浪費。
4、熱部分:采用覆套式熱器(SHEATHED HEATER)無塵無氧化熱發生器
5、風道部分:整體結構采用了水平送風的方式由左向右送風后經 H.E.P.A,(特殊風道設計)過濾效果可達99.99%,Class100;
產品特點:
1.內材質為熱變形量小的SUS鏡面不銹鋼,外材質為SECC鋼板靜噴粉烤漆處理,美觀大方。
2.保溫材質:纖維棉,隔熱性好, 大限度地溫度保溫性。
3.防密之迫緊材質為耐高溫硅膠可長時間承受高溫而不變形龜裂
4.發熱材質:為蜂窩式防腐蝕耐酸堿不銹鋼發熱器,無污染不起塵且使用壽命長
5.溫度控制為PID微腦自動演算智能溫控表,PV/SV同時顯示。
6.感溫入力CA(K)TYPE感溫頭,輸出為12V
7.計時器:子數碼0~9999顯示(S.M.H可切換)溫到計時,時間到切斷加源,報警器聲光報警,工作時間的。
8.內置強制送風循環
9.耐高溫長軸馬達,渦輪風扇。
10.流控制器為采用可控硅固態繼器(SSR)無接點無火花現象出現,安全又保持流的性,通過溫控器 信號自動調節輸出比例。
11 超高溫保護:當箱內溫升異常時,自動切斷整機源。
12.馬達過熱保護:防止機過熱造成機損傷。
13.相序保護:防止力缺相和相序錯誤,機的安全。
產品技術參數:
1.名稱及型號:無塵烘箱 GT-TK-180
2.主要技術指標:
1.無塵等級:Class 100;
2.溫度范圍: 60~200℃(300℃);
3.溫度均勻度:200℃±3℃;
4.溫度波動度:±0.5℃(空載)
5.溫控精度:±0.1℃;
6.烘箱擱板為活動形式。
7.工作尺寸:W600×H600×D500
外形尺寸:W950×H1510×D1240
8.源:380v , 50Hz,5.5Kw
荊州高溫老化烤箱 器控制:
1、雙數顯PID智能溫控器主控
2、監控儀測溫,超溫保護路監控設備整體運行狀況,保障設備及烘干物料的安全
3、采用SSR固態繼器通斷控制加熱器升溫
4、配0秒-99.99小時計時器,可進行直接計時或到溫計時,時間到自動切斷加熱并報警
5、鼓風加熱連鎖保護路,即先鼓風后加熱防止加熱器干燒
6、相序保護器防止相序接反或缺相造成風機反轉工作異常
7、加熱斷路器防止加熱路過載及短路造成意外
8、風機、控制路斷路器防止風機、控制路過載及短路造成意外
9、溫度記錄儀實時記錄工作區溫度曲線,用于分析物料烘烤工藝流程(選配